磁翻板液位計(jì)

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半導(dǎo)體和磁翻板液位計(jì)液位控制的問題及解決方案

日期：2019-04-01 來源：作者：

半導(dǎo)體制造包括諸如摻雜劑，金屬，半導(dǎo)體材料和絕緣體的輸入材料，產(chǎn)生IC，印刷電路板，IC封裝和諸如數(shù)碼相機(jī)，計(jì)算機(jī)和蜂窩電話的若干其他電子系統(tǒng)和產(chǎn)品的輸出材料。半導(dǎo)體制造中使用的工藝包括氧化，蝕刻，晶體生長，平坦化，沉積工藝和光刻。

半導(dǎo)體制造設(shè)備中的液位控制

Proteus生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)中使用的液位控制解決方案，對集成電路的可重復(fù)性，制造和性能至關(guān)重要。在當(dāng)今的半導(dǎo)體行業(yè)中，有一些主流控制解決方案。

熱基液位控制解決方案是這些中zui常見的?；贛EMS和科里奧利傳感器目前尚未用于半導(dǎo)體應(yīng)用，但對于諸如繼續(xù)推進(jìn)更快，更小和更創(chuàng)新的流體處理組件的用途將變得有用。此外，批量處理而非單個(gè)晶片的趨勢影響了傳統(tǒng)氣體系統(tǒng)中使用的部件的產(chǎn)生。

尚未開發(fā)出半導(dǎo)體行業(yè)磁翻板液位計(jì)液位控制的性能要求; 應(yīng)用材料具有測試和定義要求的規(guī)范。這些測試zui好地復(fù)制試圖進(jìn)入晶片處理室的氣體的行為。

替代氣體，通常稱為校準(zhǔn)氣體，用于zui好地復(fù)制銘牌氣體。了解校準(zhǔn)氣體與銘牌氣體的關(guān)系對于校準(zhǔn)磁翻板液位計(jì)液位控制至關(guān)重要。關(guān)系可以表示為非線性的多項(xiàng)式方程，其被創(chuàng)建以zui佳地?cái)M合該關(guān)系的函數(shù)。還應(yīng)考慮氮與所有氣體的關(guān)系，以便在裝運(yùn)和安裝到晶圓廠之前完成半導(dǎo)體設(shè)備中磁翻板液位計(jì)液位控制的測試。

性能評估對于了解哪種磁翻板液位計(jì)液位控制系統(tǒng) zui適合特定半導(dǎo)體工藝非常重要。初步測試允許與儀器制造商交互式開發(fā)磁翻板液位計(jì)液位控制。診斷，數(shù)字通信和校準(zhǔn)方面的改進(jìn)提高了磁翻板液位計(jì)液位控制的能力，并允許應(yīng)用過程控制方法。該過程允許在半導(dǎo)體工藝的開發(fā)中進(jìn)行必要的持續(xù)改進(jìn)。

半導(dǎo)體制造過程包括程序?qū)⒐に嚉怏w輸送到工具并定義一段時(shí)間的流程的階段。該流速通過磁翻板液位計(jì)液位控制器獲得，該磁翻板液位計(jì)液位控制器在受控壓力下供應(yīng)氣體。通過使用液位控制系統(tǒng)輸送用于半導(dǎo)體制造的氣體可以在用于輸送批次的流動(dòng)模式中并且同樣地以非流動(dòng)模式輸送。

磁翻板液位計(jì)液位控制市場（MFC）

2017年，水，空氣，流體和天然氣控制和處理市場將增至4930億美元; 這不僅是因?yàn)榻?jīng)濟(jì)一詞的擴(kuò)張，也是對新監(jiān)管發(fā)展和新技術(shù)和新興產(chǎn)業(yè)的興起的回應(yīng)。產(chǎn)品發(fā)布，合作伙伴關(guān)系以及對半導(dǎo)體行業(yè)中磁翻板液位計(jì)控制器不斷增長的需求都有助于該市場的增長。

在2018年至2023年之間，MFC市場預(yù)計(jì)將以5.5％的復(fù)合年增長率增長。

從市場增長1,119.5億美元至1,495.1億美元，是2022年的預(yù)期。

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